唐山任氏巨源微波仪器有限公司

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任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉

发布者:董强 | 来源:唐山任氏巨源微波仪器有限公司发布时间:2021-12-16
产品单价
199000.00元
起订量
1
供货总量
3
发货期限
自买家付款之日起60天内发货
品牌
任氏巨源
温度
1200℃

一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用:该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。

二、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉产品特点:

1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高;对称的微波发生装置,使产生的等离子场环境更均匀。







    2.
微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。

 

三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数:

型号/model

WBMW-DLZ3

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热

射频功率/KW

3  (功率可调)

工作温度/

1200

长期工作温度/

1100

温度测试元件

微波场传感器/红外测温可选

控温精度/

±2(微波场传感器)

石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系统配置(可选)

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰;

10-1Pa真空机械泵及真空计;

10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计;

10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计;

升温速率(标配)

01000/min可任意设定,可编程、分段加热

外型尺寸(xx)/mm

1000´750´1830

微波泄漏量/  mw/cm2

0.4

提供相关配件

防护 手套×1、中文说明书×1

保质期

整机免费保修1


唐山任氏巨源微波仪器有限公司
联系人 董强
微信 15230983056
手机 򈊡򈊥򈊢򈊣򈊠򈊩򈊨򈊣򈊠򈊥򈊦 邮箱 542701505@qq.com
传真 0315-5270196 地址 唐山市韩城西部经开区经十四路1号
主营产品 微波管式炉,微波马弗炉,微波材料学工作站 网址 http://rsjywb.b2b.huangye88.com/
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